出口型小型真空感應定向凝固爐

一·出口型小型真空感應定向凝固爐設備用途：

出口型小型真空感應定向凝固爐主要包括兩種功能，即可用于材料的熔化提純，也可用于材料的定向凝固。

二·出口型小型真空感應定向凝固爐設備特點：

    本設備采用立式底部升降結構，一體化設計，結構緊湊，裝卸料方便，真空爐體采用石英管

三·小型真空感應定向凝固爐主要技術參數

1.加熱溫度：     1600℃

2.常用溫度：  1400℃

3.功率：             15Kw±10%
3.冷態極限真空度：   ≤5Pa

4.坩堝尺寸：       Ф30×200mm（直徑×高 ）

5.測溫系統：         紅外儀控溫測溫

6.加熱方式：        高頻感應加熱

7.坩堝材質：石英坩堝

8.坩堝護套：氮化硼+石英陶瓷保溫套

9.坩堝升降速度：位移行程 250mm（步進電機控制）

10·爐內充氣壓力：             ≤0.03MPa

11·充氣系統：                自動充放氣

四、結構組成及說明

1、石英真空腔室                   

2、爐底及升降裝料機構           

3、感應加熱系統及    

4、真空系統                    

5、控制系統        

6、冷卻水分配系統             

三、小型真空感應定向凝固爐結構說明

1、石英真空腔室：真空密封腔室，采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式，采用徑向密封的方式，上下法蘭采用水冷密封法蘭，保證密封性，同時也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表，真空抽氣接口，觀察窗，熱偶測溫裝置以及放氣閥、安全閥等裝置。一體化設計，外形整潔美觀。

2、爐底及坩堝升降機構：爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封， 

坩堝升降機構：采用步進伺服電機+精密線性模組方式，電機升降系統密封均采用焊接波紋管密封，安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構，上面有一坩堝托盤，用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式，速度位移按照工藝要求任意設定，保證其行走速度的穩定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長使用。

4、感應加熱系統：設備加熱采用感應加熱的方式，有一高頻感應電源配合感應線圈及線圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統。采用感應線圈不動，內部坩堝升降移動的方式，來實現材料晶體的熔融及定向凝固?？梢杂脕碜鲂×坎牧暇w的生長制備實驗。測溫采用紅外實時測溫，坩堝底部可預留熱偶測溫裝置，實時顯示坩堝溫度。

5、真空系統：由一臺機械泵配真空閥門、充氣閥、放氣閥組成真空系統。真空管道與泵聯接采用快速接頭聯接（減緩震動），真空測量選用具有數字顯示功能的真空計執行。

6、控制系統：采用PLC+觸摸屏的方式 ，所有的動作都有PLC來完成，安全可靠。功能強大，操作方便，具有超溫，上線限控制聲光報警功能?？刂乒衩姘迳显O有液晶觸模屏，可設定長晶速度、位移等，界面清晰直觀，數據可記錄，查詢，導出，曲線數據，歷史數據可實時顯示，可實時觀測直觀各部件的工作狀態，實時記錄工況。

7、水冷分配系統：由循環水機及主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關裝置組成，具有斷水聲光報警及自動切斷電源等功能。

五、成套供應范圍

1.  高真空腔室                                      1套

2.  伺服升降裝置                                    1套

3.  BN坩堝(護套)                                    1套

4.  熱電偶                                           1支

5.  控制系統（plc+觸摸屏系統）                       1套

6.產品說明書，合格證                                1份

7．循環冷水機：1P                                  1臺