氟化物，藍寶石真空晶體生長爐退火爐

一·氟化物，藍寶石真空晶體生長爐退火爐設備用途 
　　主要用于LED行業的寶石類晶體，氟化物（氟化鎂，氟化鈣）等晶體是生長制備

二·氟化物，藍寶石真空晶體生長爐退火爐產品特點

1·模塊化設計，結構緊湊，外形美觀，

2·采用底部電動升降或者鐘罩式爐體升降，結構精巧，方便，移動平穩裝卸料方便

3· 采用觸摸屏+plc控制方式，自動化程度高，操作直觀，功能強大。

4· 在觸摸屏內可預存幾十種燒結工藝，一次編輯，以后直接調用使用，省去多次編輯工藝的麻煩，避免輸入錯誤，燒壞產品。

5· 燒結的溫度，真空度，等數據可實時記錄，也可隨時啟動停止記錄，減少無用數據，數據可查詢，可導出下載。

6· 燒結溫度高，用鉬絲發熱體，可達1600℃，石墨發熱體鎢發熱體可達2300℃。

7·自帶水冷機，省去客戶做水路工程的麻煩。

三·氟化物，藍寶石真空晶體生長爐退火爐設備配置

1· 設備總功率：10-100kw

2·溫度范圍：800-2300℃

3·加熱方式：石墨加熱，鎢絲加熱 感應加熱

4.測溫系統： 熱電偶  紅外儀

5· 冷態極限真空度：6.67×10E-2Pa(機械泵+羅茨泵） 6.67×10E-3Pa(機械泵+擴散泵）5.0×10E-4Pa(機械泵+分子泵）

6· 壓升率：≦2pa/h

7.坩堝升降行程： 根據晶體生長大小設計。

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

控溫精度： ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表

爐內充氣壓力： ≤0.05MPa